Kerámia szubsztrát alkalmazása

Kerámia aljzatokJelenleg a teljesítményelektronikai modulokban használják, előnyei: nagy mechanikai szilárdság, szívósság és hővezető képesség
A szilícium-nitrid költsége magasabb, mint az alumínium-nitridszubsztrát, és a hővezető képesség 80 feletti vagy több. A szilíciumot elsősorban a teljesítményelektronikai modulokhoz, például az IGBT-modulokhoz és az autók szabványos blokkjaihoz, valamint a katonai, űrrepülési modulokhoz alkalmazzák.
Akerámia hordozófőként nagy mechanikai szilárdságra és szívósságra használják. Jelenleg, mivel ez a teljesítménymodul túl nagy, a szükséges rézvastagság viszonylag magas (legalább 500 um vagy több). Mostantól megtettük, a szilícium-nitrid nyomkövető alkalmazás megköveteli, hogy a réz vastagsága is alacsony legyen (néhány IGBT modul, amely nagy áramot igényel)